[发明专利]用于可磁致动器件的探针卡和包括探针卡的测试系统有效
| 申请号： | 201710881279.2 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN108459180B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | M·罗西;S·M·雷纳;G·卡尔卡特拉 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种探针卡装配在用于测试微机电器件的系统中，该微机电器件具有对磁场敏感的元件。探针卡由PCB形成，PCB具有贯通开口以及探针尖端，用于电接触微机电器件。壳体结构被容纳在贯通开口内。壳体结构包括平面外围区域，该平面外围区域包围至少部分地突出且延伸到贯通开口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成测试磁场，该测试磁场用于微机电器件的测试操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 可磁致动 器件 探针 包括 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种在用于测试可磁致动器件的系统中使用的探针卡，包括：集成电路板，具有在所述探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，所述平面区域包围至少一个座，所述至少一个座从所述平面区域突出并且至少部分地延伸通过所述第一贯通开口；以及磁性元件，被布置在所述壳体结构的每个座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成测试磁场，所述测试磁场用于在可磁致动器件的测试阶段期间磁致动所述可磁致动器件。
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