[发明专利]一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体

摘要

本发明公开了一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，包括内外嵌套设置的内槽体及外槽体、与外槽体连接并延伸至内槽体上端的导液装置、固定在内槽体上的进液装置及设置在外槽体下端的冷却装置；所述导液装置包括导液管及设置在导液管上的阀门；所述进液装置固定在内槽体靠近连接软管的一侧内壁上端，包括积液盒及设置在积液盒下端的若干螺旋导流片；所述冷却装置包括冷冻机及与冷冻机相连的冷却水管。本发明设置了内外嵌套配合的内槽体及外槽体，内槽体在与硅片反应后会吸收大量热量，因此通过内槽体与外槽体内液体的循环实现药液温度的降低，整体结构设计合理，且空间占用率小。

主权项

1.一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：包括内外嵌套设置的内槽体及外槽体、与外槽体连接并延伸至内槽体上端的导液装置、固定在内槽体上的进液装置及设置在外槽体下端的冷却装置；所述外槽体一对平行的外侧壁上分别固定一气缸；所述内槽体上端侧壁处分别向外延伸一支撑在气缸上端的岸台，内槽体一端侧壁下端具有一出液口，所述出液口处贴合设置一两端固定在外槽体内壁上的挡板；所述导液装置包括导液管及设置在导液管上的阀门，所述导液管下端与外槽体侧壁下端连接，上端沿水平方向设置在内槽体上端，并偏离内槽体侧壁设置，呈水平状的导液管下端面上沿中轴线方向均布若干连接软管；所述进液装置固定在内槽体靠近连接软管的一侧内壁上端，包括积液盒及设置在积液盒下端的若干螺旋导流片；所述积液盒侧壁与连接软管端部固定连接，并与连接软管相连通，积液盒下端面上具有若干导液孔；所述螺旋导流片设置在导液孔下端，并与一铰接在积液盒上端的转轴固定连接；所述冷却装置包括冷冻机及与冷冻机相连的冷却水管，所述冷却水管设置在外槽体内侧下端，两端部贯穿外槽体与冷冻机相连。