[发明专利]一种用于金属有机物化学气相沉积设备的冷却水板有效
| 申请号： | 201710883638.8 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107723791B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张虎威;管长乐 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/46 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属有机物化学气相沉积设备技术领域，公开了一种用于金属有机物化学气相沉积设备的冷却水板，包括形成冷却水板框架的水冷板，所述水冷板的上表面包括热导层支撑部和设置在所述热导层支撑部周边的支撑框支撑部，所述热导层支撑部与所述支撑框支撑部成台阶状设置且所述热导层支撑部的高度大于所述支撑框支撑部的高度；所述热导层支撑部上设置有球面支撑柱。本发明用于金属有机物化学气相沉积设备的冷却水板能在满足晶片冷却均匀性的前提下，最大限度的提高对晶片温度的冷却效率，相应的提高了金属有机物化学气相沉积设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 有机物 化学 沉积 设备 冷却水 | ||
【主权项】：
1.一种用于金属有机物化学气相沉积设备的冷却水板，其特征在于：包括形成冷却水板框架的水冷板，所述水冷板的上表面包括热导层支撑部和设置在所述热导层支撑部周边的支撑框支撑部，所述热导层支撑部与所述支撑框支撑部成台阶状设置且所述热导层支撑部的高度大于所述支撑框支撑部的高度；/n所述热导层支撑部上设置有球面支撑柱，所述热导层支撑部与晶片所在的热导层的轮廓相似且热导层支撑部的轮廓尺寸小于所述热导层的边缘尺寸；/n所述支撑框支撑部与所述球面支撑柱的顶点的高度差大于支撑框支撑所述热导层的表面与支撑框底面之间的距离；/n所述冷却水板上设置有贯穿所述水冷板的上、下表面的多个气孔，所述气孔与冷却气体管路连通；/n所述冷却气体管路上设置有控制气流的调速组件。/n
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