[发明专利]抗蚀剂组合物和图案化方法有效
| 申请号： | 201710885362.7 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107870518B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 畠山润;大桥正树;佐佐见武志 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/038;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包括基础聚合物和含碘化芳族基团的羧酸的金属盐的抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案，所述金属选自钠、镁、钾、钙、铷、锶、铯、钡、钴、镍、铜、锌、镉、锡、锑、锆、铪、铈、铝和铟。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
抗蚀剂组合物，其包括基础聚合物和含碘化芳族基团的羧酸的金属盐，所述金属选自钠、镁、钾、钙、铷、锶、铯、钡、钴、镍、铜、锌、镉、锡、锑、锆、铪、铈、铝和铟。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越化学工业株式会社，未经信越化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710885362.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种僵蚕的批量培养方法
- 下一篇：立体式桑蚕饲养系统
