[发明专利]电感悬臂梁无线无源湿度传感器在审
| 申请号： | 201710886337.0 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107727696A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;黄庆安;谢明珠 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器，其中，绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明具有体积小、功耗低和可批量生产的优点，利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，传感器的回滞更小、重复性更好，无需引线和电池供电，能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行湿度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 悬臂梁 无线 无源 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和感湿薄膜(6)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。
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