[发明专利]电感双端固支梁无线无源应力传感器在审
| 申请号： | 201710886340.2 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107782472A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电感双端固支梁无线无源应力传感器，包括衬底、绝缘介质层、电感结构、锚区结构、电感双端固支梁结构；所述绝缘介质层设置在所述衬底表面；所述电感结构和所述锚区结构设置在所述绝缘介质层表面；所述电感双端固支梁结构的两端与所述锚区结构形成固定连接；所述电感双端固支梁和所述电感结构构成LC谐振回路。本发明的无线无源的LC谐振回路为片上集成结构，具有体积小、功耗低和可批量生产的优点；本发明利用电感双端固支梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，传感器的灵敏度高、结构简单且易于加工；本发明无需引线和电池供电，能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行应力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 双端固支梁 无线 无源 应力 传感器 | ||
【主权项】：
一种电感双端固支梁无线无源应力传感器，其特征在于该应力传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感双端固支梁结构(5)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感双端固支梁结构(5)的两端与所述锚区结构(4)上端形成固定连接；所述电感双端固支梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路。
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