[发明专利]一种密封铯束管的真空设计方法有效
| 申请号： | 201710887510.9 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107577138B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈江;成大鹏;马寅光;张涤新;崔敬忠;杨炜;涂建辉;王骥;黄良玉;朱宏伟;郑宁;杨军;高玮 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 11120 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 代丽;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封铯束管的真空设计方法。使用本发明能够以较小的成本获得理想的真空度或压强，提高了铯束管的研制成功率。本发明首先根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系曲线，获得铯束管的工作压强范围，然后根据铯束管的静态放置时间要求，获得铯束管各组件在静态放置时的材料单位时间出气量及材料单位面积平均出气率，并结合加电后铯炉组件和检测器组件的单位时间出气量，获得铯束管总的单位时间出气量，根据总的单位时间出气量以及铯束管的工作压强范围，计算得到溅射离子泵的最小抽速，并确定溅射离子泵的结构，最后铯束管各材料单位面积平均出气率，制定铯束管除气工艺。由此得到的铯束管的真空度满足设计要求，且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 铯束管 真空 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种密封铯束管的真空设计方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1，根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系曲线，以及铯束管要求的铯原子从铯炉出来后的自由运行距离，确定满足该自由运行距离的铯束管的工作压强范围；/n步骤2，根据铯束管的静态放置时间要求，以及步骤1获得的铯束管的工作压强范围，确定铯束管在静态放置时各组件的材料单位时间出气量及材料单位面积平均出气率；/n步骤3，计算加电后铯炉组件和检测器组件的单位时间出气量；加电后的单位时间出气量和静态放置时的单位时间出气量之和，即为总的单位时间出气量；根据总的单位时间出气量以及铯束管的工作压强范围，计算得到溅射离子泵的最小抽速，根据最小抽速确定溅射离子泵的结构；/n步骤4，根据步骤2得到的材料单位面积平均出气率，制定铯束管除气工艺；/n步骤5，根据步骤4制定的铯束管除气工艺对铯束管进行除气，采用步骤3得到的溅射离子泵对铯束管进行抽真空，实现铯束管的真空度要求。/n
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