[发明专利]研磨废浆中碳化硅的回收方法在审

专利信息
申请号: 201710887953.8 申请日: 2017-09-27
公开(公告)号: CN109553104A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 肖宝军 申请(专利权)人: 东莞新科技术研究开发有限公司
主分类号: C01B32/956 分类号: C01B32/956
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 523087 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法,包括以下步骤:(1)加入水将研磨废浆稀释;(2)分离研磨废桨中的固体及液体,该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒;(3)移除硅粉颗粒和液体,保留碳化硅颗粒;(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。本发明可有效回收研磨废浆中的碳化硅,从而将其循环利用,防止环境污染。
搜索关键词: 研磨 碳化硅 废浆 碳化硅颗粒 硅粉颗粒 碱性溶液 酸性溶液 循环利用 有效回收 回收 去除 稀释 移除 浸泡 残留 保留
【主权项】:
1.一种研磨废浆中碳化硅的回收方法,包括以下步骤:(1)加入水将研磨废浆稀释;(2)分离研磨废桨中的固体及液体,该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒;(3)移除硅粉颗粒和液体,保留碳化硅颗粒;(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。
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