[发明专利]研磨废浆中碳化硅的回收方法在审
申请号: | 201710887953.8 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN109553104A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 肖宝军 | 申请(专利权)人: | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
主分类号: | C01B32/956 | 分类号: | C01B32/956 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 523087 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法,包括以下步骤:(1)加入水将研磨废浆稀释;(2)分离研磨废桨中的固体及液体,该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒;(3)移除硅粉颗粒和液体,保留碳化硅颗粒;(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。本发明可有效回收研磨废浆中的碳化硅,从而将其循环利用,防止环境污染。 | ||
搜索关键词: | 研磨 碳化硅 废浆 碳化硅颗粒 硅粉颗粒 碱性溶液 酸性溶液 循环利用 有效回收 回收 去除 稀释 移除 浸泡 残留 保留 | ||
【主权项】:
1.一种研磨废浆中碳化硅的回收方法,包括以下步骤:(1)加入水将研磨废浆稀释;(2)分离研磨废桨中的固体及液体,该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒;(3)移除硅粉颗粒和液体,保留碳化硅颗粒;(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。
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