[发明专利]一种薄膜冲压装置以及芯片喷码工艺在审
申请号: | 201710889826.1 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN107634019A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 陈东 | 申请(专利权)人: | 江苏凯尔生物识别科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215143 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜冲压装置以及芯片喷码工艺,包括冲压平台、固定片、冲压上模体、冲压下模座和固定装置,其中,所述冲压平台上表面设置有工作区,所述冲压下模座位于所述工作区内;所述固定片用于与薄膜贴合,所述固定片设有至少一个镂空部;所述固定装置设置在所述冲压平台上,其用于所述固定片在所述工作区上的活动装夹。本发明在薄膜与芯片贴合之前,将薄膜上覆盖在固定片的镂空部上,由冲压上模体和冲压下模座冲压加工出通孔,具有通孔的薄膜覆盖在芯片上后,会使得芯片有部分露出,通过喷码装置对该露出部分进行喷码,从而解决了现有技术中的问题,无需在喷码前对薄膜进行撕除。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 冲压 装置 以及 芯片 工艺 | ||
【主权项】:
一种薄膜冲压装置,其特征在于,包括冲压平台(2)、固定片(4)、冲压上模体(6)、冲压下模座(5)和固定装置(7),其中,所述冲压平台(2)上表面设置有工作区,所述冲压下模座(5)位于所述工作区内;所述固定片(4)用于与薄膜贴合,所述固定片(4)设有至少一个镂空部(8),所述镂空部(8)上、下贯通,所述薄膜部分覆盖在所述镂空部(8)的上方和/或下方;所述固定装置(7)设置在所述冲压平台(2)上,其用于所述固定片(4)在所述工作区上的活动装夹;所述冲压上模体(6)位于所述冲压下模座(5)的正上方,并能相对所述冲压下模体做升降运动,所述冲压上模体(6)在升降时与所述冲压下模座(5)配合,从而在覆盖于所述镂空部(8)上所述薄膜上冲出至少一个通孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造