[发明专利]一种带有载气加热装置及导流装置的多晶铸锭炉

摘要

本发明公开了一种带有载气加热装置及导流装置的多晶铸锭炉，包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的导流装置，还包括用于加热载气的加热装置，所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通，输入端和载气的输气管连通。冷载气先经加热装置加热后形成温度较高的热载气，该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料；减少吹射区域液态硅的过冷度，降低甚至消除了液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。

主权项

一种带有载气加热装置及导流装置的多晶铸锭炉，包括隔热笼和导流管，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，其特征在于：还包括导流装置和用于加热载气的加热装置，所述导流装置包括分流腔部、进气管部和至少一条导流气管；所述分流腔部主要由内侧壁、外侧壁、上端壁和下端壁所构成的呈环状的密闭腔体；进气管部设置在分流腔部的外侧壁的外部，进气管部的一端和分流腔部的外侧壁固定并连通；所述导流气管沿着非等螺距的圆柱状螺旋线分布在分流腔部的下方，导流气管的上端部和分流腔部的下端壁连通并固定，导流气管的下端部为出口；所述导流管装配在顶隔热板上，其下端穿过顶隔热板中部的通孔，并从顶隔热板的下端面伸出；所述导流装置和导流管下端部轴向固定连接；所述加热装置的输出端和导流装置的进气管部通过配接管道连通，输入端和载气的输送管连通。