[发明专利]一种测量装置

摘要

本发明提供了一种测量装置，包括：工作台、光栅基底、步进方向测量镜、步进方向干涉仪、光学曝光装置以及全息体光栅相位定位测量装置；光栅基底与步进方向测量镜固定于工作台的同一表面；步进方向干涉仪与步进方向测量镜相对设置；光学曝光装置以第一预设距离固定于工作台上方；全息体光栅相位定位测量装置以第二预设距离固定于工作台上方；依据步进方向干涉仪与步进方向测量镜之间的光程和/或依据检测已完成曝光的全息体光栅的相位变化，对工作台进行定位测量。该测量装置解决了随着工作台步进距离的增大导致步进方向干涉仪的测量精度和重复性不符合要求的问题，有效提高了光栅衍射波前的质量，也降低了对环境控制的成本和技术。

主权项

一种测量装置，用于扫描干涉场曝光装置工作台步进方向定位测量，其特征在于，所述装置测量装置包括：工作台、光栅基底、步进方向测量镜、步进方向干涉仪、光学曝光装置以及全息体光栅相位定位测量装置；其中，所述光栅基底与所述步进方向测量镜固定于所述工作台的同一表面；所述步进方向干涉仪与所述步进方向测量镜相对设置；所述光学曝光装置以第一预设距离固定于所述工作台上方，用于发射出曝光光束；所述全息体光栅相位定位测量装置以第二预设距离固定于所述工作台上方，用于发射出测量光束实时测量已完成曝光的全息体光栅的相位变化；所述测量装置包括：第一测量阶段、第二测量阶段以及第三测量阶段，用于依据所述步进方向干涉仪与所述步进方向测量镜之间的光程和/或依据所述测量已完成曝光的全息体光栅的相位变化，对所述工作台进行定位测量。