[发明专利]一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉

摘要

本发明公开了一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置，还包括用于加热载气的加热装置，所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通，输入端和载气的输气管连通。冷载气先经加热装置加热后形成温度较高的热载气，该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料；减少吹射区域液态硅的过冷度，降低甚至消除了液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。

主权项

一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，包括隔热笼和导流管，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，其特征在于：还包括导流装置和用于加热载气的加热装置，所述导流装置包括固定连接的导流筒部和进气台部，导流筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体，进气台部设置在导流筒部的外部；所述导流筒部上端部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的分流腔；进气台部内置用于载气流入的进气孔，进气孔和分流腔间通过连通气道连通；所述导流筒部的筒壁内设置至少一条自分流腔的下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道，导流气道的出口位于导流筒部的下端；所述导流管装配在顶隔热板上，其下端穿过顶隔热板中部的通孔，并从顶隔热板的下端面伸出；所述导流装置和导流管下端部轴向固定连接；所述加热装置的输出端和导流装置的进气孔通过配接管道连通，输入端和载气的输送管连通。