[发明专利]碳化膜的制造方法在审
| 申请号： | 201710896134.X | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109574668A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 吴家浩;赖昱辰 | 申请（专利权）人： | 达迈科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/524 | 分类号： | C04B35/524;C04B35/622 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明为一种碳化膜的制造方法，其特别指以聚酰亚胺薄膜为前驱物进行碳化热处理，热处理条件为：于500～800℃升温区间的平均升温速率为每分钟2℃以下，最高碳化温度为1000℃或更高温度，以形成碳化膜。再将碳化膜进行石墨化热处理，其热处理条件为2200℃及至最高石墨化温度的平均升温速率小于每分钟3℃，2500℃或更高温度为工艺的最高石墨化温度，以形成石墨膜。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化膜 热处理条件 石墨化 碳化 聚酰亚胺薄膜 石墨化热处理 热处理 升温区间 前驱物 石墨膜 制造 | ||
【主权项】：
1.一种碳化膜的制造方法，其包括有下列步骤：提供一聚酰亚胺膜为前驱物；及对该聚酰亚胺膜进行碳化热处理，于碳化热处理500～800℃升温区间的平均升温速率为每分钟2℃以下，最高碳化温度为1000℃以上。
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