[发明专利]频率可调声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201710897205.8 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107819448B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 赵成;陈磊;杨义军;张凯;曾祥华 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 吴茂杰 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种频率可调声表面波谐振器，包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地。本发明的频率可调声表面波谐振器,频率调节灵活、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 可调 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种频率可调声表面波谐振器，其特征在于：包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；所述中间介质层包括第一中间介质层(51)、第二中间介质层(52)和第三中间介质层(53)，所述第一中间介质层(51)叠合于叉指换能器(2)之上且与叉指换能器(2)同形，所述第二中间介质层(52)叠合于第一短路反射阵(31)之上且与第一短路反射阵(31)同形，所述第三中间介质层(53)叠合于第二短路反射阵(32)之上且与第二短路反射阵(32)同形；所述电压调控电极层包括第一电压调控电极层(61)、第二电压调控电极层(62)和第三电压调控电极层(63)，所述第一电压调控电极层(61)叠合于第一中间介质层(51)之上且与第一中间介质层(51)同形，所述第二电压调控电极层(62)叠合于第二中间介质层(52)之上且与第二中间介质层(52)同形，所述第三电压调控电极层(63)叠合于第三中间介质层(53)之上且与第三中间介质层(53)同形；还包括上层为金属、下层为介质的多个过桥(7)，所述多个过桥(7)通过其上层金属(72)将电压调控电极层的三个电压调控电极层(61、62、63)连通，通过下层介质(71)将金属结构层的叉指换能器(2)与第一短路反射阵(31)、第二短路反射阵(32)隔离；所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地。
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