[发明专利]真空干燥装置有效
申请号: | 201710897826.6 | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN108344254B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 刘新 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | F26B5/04 | 分类号: | F26B5/04;F26B21/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 万志香 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种真空干燥装置,包括具有真空腔的干燥室、设于真空腔内的样品台以及设于真空腔内的稳流通道,其中稳流通道的一端用于与抽气装置相连通,另一端朝向样品台设置且该端设有气流入口。与常规的真空干燥器相比,采用上述真空干燥装置使样品表面形成稳定的层流,能够避免膜层内部形成湍流或中间干燥速率慢、四周干燥速率快的情况,能够尽量使墨水等材料中的水分等待挥发性成分均匀挥发,进而有效提高成膜的均匀性,进而提高器件的性能。 | ||
搜索关键词: | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】:
1.一种真空干燥装置,其特征在于,包括干燥室,所述干燥室具有真空腔;样品台,所述样品台设于所述真空腔内;稳流通道,所述稳流通道设于所述真空腔内,所述稳流通道的一端用于与抽气装置相连通,所述稳流通道的另一端朝向所述样品台设置且该端设有气流入口。
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