[发明专利]真空干燥装置有效

专利信息
申请号: 201710897826.6 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN108344254B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 刘新 申请(专利权)人: 广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号: F26B5/04 分类号: F26B5/04;F26B21/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 万志香
地址: 510000 广东省广州市广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种真空干燥装置,包括具有真空腔的干燥室、设于真空腔内的样品台以及设于真空腔内的稳流通道,其中稳流通道的一端用于与抽气装置相连通,另一端朝向样品台设置且该端设有气流入口。与常规的真空干燥器相比,采用上述真空干燥装置使样品表面形成稳定的层流,能够避免膜层内部形成湍流或中间干燥速率慢、四周干燥速率快的情况,能够尽量使墨水等材料中的水分等待挥发性成分均匀挥发,进而有效提高成膜的均匀性,进而提高器件的性能。
搜索关键词: 真空 干燥 装置
【主权项】:
1.一种真空干燥装置,其特征在于,包括干燥室,所述干燥室具有真空腔;样品台,所述样品台设于所述真空腔内;稳流通道,所述稳流通道设于所述真空腔内,所述稳流通道的一端用于与抽气装置相连通,所述稳流通道的另一端朝向所述样品台设置且该端设有气流入口。
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