[发明专利]一种基于超材料结构的微波功率传感器

摘要

本发明公开了一种基于超材料结构的微波功率传感器，包括基板、输入微带信号线、悬臂梁结构输入微带信号线、悬臂梁结构输出微带信号线、输出微带信号线、叉指结构、开路短截线电感以及微带线地线，该微波功率传感器是在基板上放置由悬空的叉指结构和开路短截线电感构成的超材料结构，当输入的微波功率发生变化时，微波功率对相互平行、悬空的叉指结构的吸引，导致叉指结构的位移，从而使得叉指电容和开路短截线电感构成的超材料结构产生相应的相移输出，通过检测超材料结构的相移，实现微波功率的测量，本发明灵敏度高，且为相移输出，测量误差小，同时还具有结构简单、成本低、体积小、功耗低、工艺兼容等优势。

主权项

1.一种基于超材料结构的微波功率传感器，其特征在于：包括基板（1）、输入微带信号线（2）、悬臂梁结构输入微带信号线（3）、悬臂梁结构输出微带信号线（4）、输出微带信号线（5）、悬臂梁结构输入微带信号线（3）和悬臂梁结构输出微带信号线（4）之间的叉指结构（6）（7）、开路短截线电感（8）（9）、微带线地线（10）；所述微带线地线（10）位于基板（1）的下表面，其余部分放置于基板（1）的上表面，输入微带信号线（2）与输出微带信号线（5）平行放置，悬臂梁结构输入微带信号线（3）与悬臂梁结构输出微带信号线（4）平行放置在基板上表面两侧，输入微带信号线（2）和输出微带信号线（5）分别与悬臂梁结构输入微带信号线（3）和悬臂梁结构输出微带信号线（4）连接，开路短截线电感（8）（9）分别与输入微带信号线（2）和输出微带信号线（5）连接，叉指结构（6）（7）分为两组，叉指结构（6）（7）相互平行、相互交错、悬空的放置于悬臂梁结构输入微带信号线（3）与悬臂梁结构输出微带信号线（4）之间，其中一组叉指结构（6）与悬臂梁结构输入微带信号线（3）连接，另一组叉指结构（7）与悬臂梁结构输出微带信号线（4）连接。