[发明专利]加热装置

摘要

本发明提供能够提高加热装置中的保持面的面内匀热性的加热装置。加热装置具有：保持体，其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状且在内部具有与彼此不同的一对电极端子相连接的多个电阻发热体；柱状支承体，其与保持体的第2表面接合在一起，该加热装置用于对保持在保持体的第1表面上的对象物进行加热。上述多个电阻发热体包含：第1电阻发热体，其跨越包含从第1方向观察时与柱状支承体重合的区域的第1区域和从第1方向观察时位于第1区域的外周侧且包含不与柱状支承体重合的区域的第2区域地配置；第2电阻发热体，其跨越第1区域和第2区域地配置，且第1区域中的每单位面积的发热量比第2区域中的每单位面积的发热量大。

主权项

一种加热装置，其具有：保持体，其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状，并且在内部具有多个电阻发热体，该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接；以及柱状支承体，其呈在所述第1方向上延伸的柱状，且与所述保持体的所述第2表面接合在一起，该加热装置用于对保持在所述保持体的所述第1表面上的对象物进行加热，该加热装置的特征在于，所述多个电阻发热体包含：第1电阻发热体，其跨越第1区域和第2区域地配置，且所述第1区域中的每单位面积的发热量与所述第2区域中的每单位面积的发热量大致相同，其中，所述第1区域包含从所述第1方向观察时与所述柱状支承体重合的区域，所述第2区域从所述第1方向观察时位于所述第1区域的外周侧并且包含不与所述柱状支承体重合的区域；以及第2电阻发热体，其在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体不同的位置，且跨越所述第1区域和所述第2区域地配置，并且所述第1区域中的每单位面积的发热量比所述第2区域中的每单位面积的发热量大。