[发明专利]锆合金包壳的表面涂层的制备方法以及表面涂层有效
| 申请号： | 201710898831.9 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109576656B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 刘艳红;王晓婧;冯硕;李怀林;夏海鸿 | 申请（专利权）人： | 国家电投集团科学技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;G21C3/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王慧忠 |
| 地址： | 102209 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种锆合金包壳的表面涂层的制备方法，所述制备方法采用碳化物靶材在锆合金基体上形成碳化物涂层。所述制备方法包括：对锆合金基体进行机械打磨和抛光处理；将锆合金基体置于丙酮和去离子水组成的溶液中进行超声清洗；对锆合金基体进行低温烘干处理；采用射频磁控溅射方法溅射烧结碳化物靶材，溅射功率在1200W以下，并辅助偏压范围0‑1000V，从而形成碳化物涂层；将形成有碳化物涂层的锆合金基体从磁控溅射仪中取出，在氩气环境下进行热处理，温度在500‑700℃，时间1‑3小时；以及对形成有碳化物涂层的锆合金包壳进行检验。本发明还提供了一种表面涂层。通过本发明的锆合金包壳的表面涂层的制备方法，能够提高锆合金包壳的耐腐蚀和抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 表面 涂层 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种锆合金包壳的表面涂层的制备方法，其特征在于，所述制备方法采用碳化物靶材在锆合金基体上形成碳化物涂层。
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