[发明专利]一种激光切割系统及方法有效
| 申请号： | 201710900079.7 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109590618B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 孙杰;徐文;宋春峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/08 | 分类号： | C03B33/08;B23K26/38;B23K26/06;B23K26/064 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光切割系统及方法，该激光切割系统包括沿光路依次排列的：激光器，提供切割所需的脉冲激光；光束整形模块，将脉冲激光转变为改性光束和/或烧蚀光束，改性光束为能量在轴向上分布平滑的贝塞尔光束；待切割透明材料，以及用于承载带切割透明材料的运动台。通过光束整形模块将脉冲激光转变为改性光束和/或烧蚀光束，可适应化学强化玻璃和淬火玻璃等可以自裂的透明材料以及需要烧蚀划线的普通玻璃的切割加工，提高了能量利用率及工艺适应性；改性光束为能量在轴向上分布平滑的贝塞尔光束，能量大小不变，避免了中心光束通过非理想轴棱镜顶点后，造成的贝塞尔光束能量分布振荡的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 切割 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光切割系统，其特征在于，包括沿光路依次排列的：激光器，提供切割所需的脉冲激光；光束整形模块，将所述脉冲激光转变为改性光束和/或烧蚀光束，所述改性光束为能量在轴向上分布平滑的贝塞尔光束；待切割透明材料，以及用于承载所述待切割透明材料的运动台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710900079.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种激光雕刻定位固定装置
- 下一篇：一种切割头高度控制方法及激光切割机
