[发明专利]微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法

摘要

微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。

主权项

一种微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置，其特征在于：其由供气系统、温度控制系统、真空反应系统组成，所述的供气系统包括氢气瓶(1)、氩气瓶(2)、甲烷瓶(3)、气体混合箱(4)、进气针阀(14)，所述的温度控制系统包括加热电源(5)、热电偶显示表(6)、红外测温仪(7)、电极组件(16)、工作台(17)、热电偶(20)、补偿导线(21)；所述的真空反应系统包括真空反应室(8)、工作台基座(10)、压力控制装置(11)、冷水机(12)、真空泵(13)、真空表(15)、真空针阀(19)；所述的真空泵(13)通过真空针阀(19)与真空反应室(8)连通，所述的真空反应室(8)固定在工作台基座(10)上方，真空泵(13)固定在工作台基座(10)内底部，所述的氢气瓶(1)、氩气瓶(2)和甲烷瓶(3)通过软管、进气针阀(14)与混合箱(4)连通，所述的进气针阀(14)固定在真空反应室(8)炉盖上，进气针阀(14)与真空反应室(8)连通，所述的压力控制装置(11)与真空反应室(8)连通，所述的电极组件(16)固定在真空反应室(8)内，电极组件(16)上固定有三根热丝，所述的工作台(17)设置在真空反应室(8)内，微刀具插入工作台(17)上的石墨套中，并通过紧定螺钉固定在工作台(17)上，所述的加热电源(5)固定在工作台基座(10)上，加热电源(5)与两根电缆线一端相连，所述的两根电缆线另一端与电极组件(16)连接，所述的热电偶(20)设置在热电偶固定台上，所述的热电偶固定台设置在真空反应室(8)内，热电偶(20)的探头端部贴有硬质合金薄片，所述的补偿导线(21)一端连接在热电偶(20)上，补偿导线(21)另一端与热电偶显示表(6)相连，所述的热电偶显示表(6)设置在真空反应室(8)外部，所述的红外测温仪(7)通过自带的支架安装于真空反应室(8)外部，所述的冷水机(12)外接有四根冷水管，其中两根所述的冷水管与真空反应室(8)的炉盖的水槽连通，其余两根冷水管与真空反应室(8)的炉体的水通道连通，所述的真空表(15)安装在真空反应室(8)的炉盖上。