[发明专利]一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置有效
| 申请号： | 201710902845.3 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107727789B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘学强 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何倚雯 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置，该方法包括：获取标准液；对标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；采用当前浓度系数对第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将浓度测量装置的当前浓度系数更新为新的浓度系数； |
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| 搜索关键词： | 一种 浓度 测量 装置 及其 系数 校正 方法 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种浓度测量装置的浓度系数自校正方法，所述浓度系数用于修正所述浓度测量装置测量的浓度值，其特征在于，包括：S11、获取标准液；S12、对所述标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；S13、采用当前浓度系数对所述第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；S14、利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将所述浓度测量装置的当前浓度系数更新为所述新的浓度系数；其中，所述标准浓度值是所述标准液的标准浓度值。
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