[发明专利]光谱共焦距离传感器有效
| 申请号： | 201710903643.0 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107894208B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | D·马尔索;M·朔恩勒贝尔 | 申请（专利权）人： | 普莱斯泰克光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 冷妮;吴鹏 |
| 地址： | 德国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光谱共焦距离传感器，其具有壳体，在该壳体中布置有多色光源、具有纵向色差的成像光学器件、光谱仪和平坦的分束器表面。这些构件位于测量光的在光源与成像光学器件之间的光路中并且还位于测量光的在成像光学器件与光谱仪之间的光路中。壳体还包含被布置在光源与分束器表面之间的光路中的第一隔膜和被布置在分束器表面与光谱仪之间的光路中的第二隔膜。第一隔膜和第二隔膜相对于分束器表面镜像对称地布置。根据本发明，测量光作为自由光束在壳体内传播。分束器表面、第一隔膜和第二隔膜被一起紧固在具有各向同性热膨胀系数的载架上。这样，温度变化不会显著影响测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 焦距 传感器 | ||
【主权项】：
一种光谱共焦距离传感器，具有壳体(70)，在所述壳体中布置有以下构件：‑光源(10)，所述光源构造成产生多色测量光(ML)，‑成像光学器件(28)，所述成像光学器件具有纵向色差，‑光谱仪(44)，‑平坦的分束器表面(26)，所述分束器表面被布置在测量光(ML)的在所述光源(10)与所述成像光学器件(28)之间的光路中，并且还被布置在从所述成像光学器件(28)通过之后已由测量物体(14)反射的所述测量光的在所述成像光学器件与所述光谱仪(44)之间的光路中，‑第一隔膜(18)，所述第一隔膜被布置在所述光源(10)与所述分束器表面(26)之间的光路中，‑第二隔膜(40)，所述第二隔膜被布置在所述分束器表面(26)和所述光谱仪(44)之间的光路中，‑所述第一隔膜(18)和所述第二隔膜(40)相对于所述分束器表面(26)镜像对称地布置，其特征在于：所述测量光(ML)作为自由光束在所述壳体(70)内传播，并且所述分束器表面(26)、所述第一隔膜(18)和所述第二隔膜(40)被一起紧固在具有各向同性热膨胀系数的载架(52；22，24)上。
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