[发明专利]一种集成式红外带通滤波器及其制造方法和光谱仪在审
| 申请号： | 201710904311.4 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107894625A | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 但亚平;王昂 | 申请（专利权）人： | 扬中市恒海电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G03F7/00;G01N21/35 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,李献忠 |
| 地址： | 212211 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式红外带通滤波器及其制造方法和光谱仪。该集成式红外带通滤波器包括一金属层，所述金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过微米或纳米金属孔的光的特征波长λmax满足以下公式λmax=a43(i2+ij+j2)ϵmϵdϵm+ϵd]]>这里，a表示金属孔的排列周期，i和j表示与阵列散射阶次相关的整数，εm和εd分别表示金属和介电材料的介电常数。本发明的集成式红外带通滤波器可以将大量选通红外波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工大规模集成在很小的芯片上，具有高集成度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 红外 带通滤波器 及其 制造 方法 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种集成式红外带通滤波器，其特征在于，包括一金属层，所述金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过微米或纳米金属孔的光的特征波长λmax满足以下公式：这里，a表示金属孔的排列周期，i和j表示与阵列散射阶次相关的整数，εm和εd分别表示金属和介电材料的介电常数。
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