[发明专利]一种采用多边形振动梁的蝶翼式微陀螺及其制备方法

摘要

本发明公开了一种采用多边形振动梁的蝶翼式微陀螺及其制备方法，蝶翼式微陀螺包括硅电极基板、硅盖板以及带有振动梁的硅敏感结构，所述硅敏感结构的振动梁为以用于制备硅敏感结构的SOI硅片为原材料采用湿法腐蚀和干法刻蚀相结合制成的多边形振动梁，所述多边形振动梁的主轴方位角不等于90°；制备方法包括以SOI硅片为原材料，采用湿法腐蚀和干法刻蚀相互结合的加工工艺方法制备蝶翼式微陀螺。本发明能够实现微陀螺主轴方位角的灵活配置，同时实现减小加工工艺误差对微陀螺性能的影响，具有容差能力高、加工工艺简单、加工质量高、加工鲁棒性好、稳定性好、应用范围广的优点。

主权项

1.一种采用多边形振动梁的蝶翼式微陀螺，包括硅电极基板(1)、硅盖板(3)以及带有振动梁的硅敏感结构(2)，其特征在于：所述硅敏感结构(2)的振动梁为以用于制备硅敏感结构(2)的SOI硅片为原材料采用湿法腐蚀和干法刻蚀相结合制成的多边形振动梁(22)，所述多边形振动梁(22)的主轴方位角不等于90°。