[发明专利]一种适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器

摘要

本发明公开了一种适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器。该适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器包括：至少两个干涉带通滤光片，所述干涉带通滤光片为窄条干涉带通滤光片，所述干涉带通滤光片相互结合在一起，且所述干涉带通滤光片的谱段不同。本发明提供的适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器具有良品率高且成本低的优点。

主权项

1.一种适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器，其特征在于，包括：至少两个干涉带通滤光片，所述干涉带通滤光片相互结合在一起，且所述干涉带通滤光片的谱段不同；/n所述干涉带通滤光片为窄条干涉带通滤光片，所述窄条干涉带通滤光片的形状为细长条状的长方体；/n所述干涉带通滤光片的谱段半峰值宽度小于±5nm；/n所述干涉带通滤光片上设置有镀膜层；/n所述镀膜层是通过激光镀膜的方式得到，采用真空镀膜或磁控反应溅射镀制所述镀膜层，镀膜时各处沉积速率均相同，通过镀膜时间来得到不同谱段的干涉带通滤光片，所述适用于精细多光谱成像仪的超高谱段集成度分谱器的干涉带通滤光片可以单个分别进行镀膜；/n所述干涉带通滤光片采用组合加工的加工方法，来保证的一致性，将多片窄条滤光片分别通过特制夹具固定在同一基底上，对所述窄条滤光片的工作表面以及集成粘接用表面采用同种加工工艺进行统一连续的加工，具体步骤为：/n采用特制靠面作为基准实现高精度拼接，所述靠面平面度小于3μm，首先将筛选后的第一干涉带通滤光片擦拭干净，将其工作表面朝向靠面，以靠面作为基准进行靠实，并沿竖直方向在保证与基准贴合的同时滑入底部预定位置，之后通过涂胶装置将航空环氧树脂胶按照一定剂量均匀的涂在第一干涉带通上表面，然后将第二干涉带通滤光片擦拭干净，以靠面作为基准进行靠实，并沿竖直方向在保证与基准贴合的同时滑入，直至第二干涉带通滤光片下表面与第一干涉带通滤光片的上表面涂胶部分紧密贴合，之后通过涂胶装置将航空环氧树脂胶按照一定剂量均匀的涂在第二干涉带通滤光片，重复上述过程，直至所有滤光片粘接完毕；/n在各干涉带通滤光片的粘接表面两侧加工十字型对准标记，每个干涉带通滤光片上的镀膜区域都与其十字标记保证固定位置关系，在干涉带通滤光片依据靠面基准的同时，在显微镜下将第一干涉带通滤光片上两侧的十字标记与第一干涉带通滤光片两侧的十字标记进行对准，再涂胶落下，集成牢固后，再将第三干涉带通滤光片上两侧的十字标记与第二干涉带通滤光片上两侧的十字标记进行对准，重复上述过程，直至所有滤光片粘接完毕；/n采用特制的镂空薄片，通过其上镂空的尺寸控制窄条滤光片胶接面上的涂胶量，将镂空薄片放置在第一干涉带通滤光片粘接面上，使镂空缝隙与粘接面对准并紧密贴合，通过注胶头将胶涂在薄片缝隙上，然后将镂空薄片取下，将第二干涉带通滤光片集成在粘接位置，重复此过程直至所有滤光片粘接完毕；/n所述干涉带通滤光片的数量为至少8个，/n所述干涉带通滤光片的材料为融石英材料，/n所述干涉带通滤光片的谱段通过范围为400nm～1000nm。/n