[发明专利]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶在审
| 申请号： | 201710906791.8 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107731670A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 谷香梅 | 申请（专利权）人： | 谷香梅 |
| 主分类号： | H01L21/223 | 分类号： | H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体内设有超声波发生器，本发明解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 用三氯氧磷 扩散 | ||
【主权项】：
一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于：包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体内设有超声波发生器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
