[发明专利]一种光信号的处理装置及方法有效
| 申请号： | 201710909289.2 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109581831B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 孙建超;忻斌杰;李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光信号处理装置及方法，包括测量光能输出单元、自参考棱镜单元、信号测量接收单元和光能损耗单元，所述测量光能输出单元将光信号采集至自参考棱镜单元，所述光信号经自参考棱镜单元进入光能损耗单元损耗部分光信号后再进入信号测量接收单元。本发明提供的光信号的处理装置及方法，通过对衍射光中低级次光的处理，降低低级次光的噪声干扰，可以有效的提高对准重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 信号 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光信号处理装置，其特征在于，包括测量光能输出单元、自参考棱镜单元、信号测量接收单元和光能损耗单元，所述测量光能输出单元将光信号采集至自参考棱镜单元，所述光信号经自参考棱镜单元进入光能损耗单元损耗部分光信号后再进入信号测量接收单元。
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