[发明专利]运动台控制系统、运动台系统与曝光装置有效
| 申请号： | 201710912242.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109581861B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 袁智行;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种运动台控制系统、运动台系统与曝光装置，其中的控制系统，包括运动台、测量系统、PID控制器，所述PID控制器包括积分模块、比例增益模块以及微分模块，所述输入误差经所述比例增益模块处理后分别输入至微分模块以及积分模块，所述PID控制器综合所述比例增益模块、微分模块以及积分模块的输出量得到控制量；其中，所述积分模块包括重置积分器和常规积分器，所述重置积分器用以针对输入的经所述比例增益模块处理后的输入误差，进行相应的积分处理后输出，所述积分模块基于重置被引入的比例与未被引入的比例，并结合所述重置积分器与所述常规积分器的输出量后输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 控制系统 系统 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种运动台控制系统，其特征在于：包括运动台、测量系统、PID控制器，所述PID控制器以所述运动台检测到的位置观测值与位置设定值之间的误差作为输入误差，控制所述运动台的运动位置，所述PID控制器包括积分模块、比例增益模块以及微分模块，所述输入误差经所述比例增益模块处理后分别输入至微分模块以及积分模块，所述PID控制器综合所述比例增益模块、微分模块以及积分模块的输出量得到控制量；其中，所述积分模块包括重置积分器和常规积分器，所述常规积分器用以针对输入的经所述比例增益模块处理后的输入误差，进行相应的积分处理后输出，所述重置积分器用以针对输入的经所述比例增益模块处理后的输入误差，进行相应的积分处理后输出，所述积分模块基于重置被引入的比例与未被引入的比例，并结合所述重置积分器与所述常规积分器的输出量后输出信号。
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