[发明专利]一种显示面板及其制作方法

摘要

本发明提供一种显示面板的制作方法，在有源层上通过沉积、黄光、蚀刻制程制备两个栅极，在第一层间绝缘层上沉积第二层间绝缘层，第二层间绝缘层为有机膜层，可以起到缓冲作用和粘结上下层的作用，也增加第一接触孔的孔深，在形成第一接触孔的对应第二层间绝缘层能通过黄光、蚀刻制程去掉，从而使第一接触孔的孔深降低了，然后沉积形成源源漏极就避免了过长而导致易断裂的问题，将第一接触孔的孔深降低同时也降低了形成源漏极的工艺难度。本发明还提供一种显示面板。

主权项

一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述制造方法包括如下步骤:S1：提供一基板,在该基板上沉积形成缓冲层；S2：在缓冲层上形成有源层；S3：在所述缓冲层上沉积第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层覆盖所述有源层；S4：在所述第一栅极绝缘层上沉积并图案化第一金属层，形成第一栅极，所述第一栅极位于有源层正上方；S5：在第一栅极上沉积第二栅极绝缘层，所述第二栅极绝缘层覆盖所述第一栅极；S6：在所述第二栅极绝缘层上沉积并图案化第二金属层，形成第二栅极，所述第二栅极位于第一栅极正上方；S7：在所述第二栅极上沉积第一层间绝缘层，所述第一层间绝缘层覆盖所述第二栅极；S8：在所述第一层间绝缘层上沉积第二层间绝缘层，然后通过黄光、蚀刻制程把对应于有源层上方的第二层间绝缘层蚀刻掉形成空白区，只保留空白区以外的第二层间绝缘层；S9：在所述第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层和第一层间绝缘层上与所述有源层的两端对应的位置形成第一接触孔；在所述第一层间绝缘层上的空白区形成源漏极，所述源漏极通过第一接触孔与有源层电连接；S10：在所述第一层间绝缘层上并覆盖源漏极和第二层间绝缘层上形成平坦层；以及在所述平坦层上形成发光功能层。