[发明专利]一种钽酸锂或铌酸锂晶片的黑化处理方法在审

专利信息
申请号: 201710915938.X 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN107620125A 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 崔坤;李勇;宋松;宋伟;温旭杰;朱卫俊;王祥邦;徐慧琴;施旭霞 申请(专利权)人: 中电科技德清华莹电子有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02;C30B29/30
代理公司: 杭州丰禾专利事务所有限公司33214 代理人: 王晓峰
地址: 313200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明目的提供一种钽酸锂或铌酸锂晶片的黑化处理方法;一种无氧富锂浓度气氛条件下,高温(居里温度以下)处理钽酸锂、铌酸锂晶片的工艺方法,通过此工艺方法可提高晶片的电导率,迅速消除由于温度变化而产生的表面电荷,不产生电荷累积,达到减弱热释电效应的目的。
搜索关键词: 一种 钽酸锂 铌酸锂 晶片 处理 方法
【主权项】:
一种钽酸锂或铌酸锂晶片的黑化处理方法,特征在于:该方法包括以下步骤:1)将锂化合物和硅油放入耐高温容器A中;2) 将钽酸锂和铌酸锂晶片分放入耐高温容器B中;3) 将步骤1)和步骤2)中耐高温容器A和耐高温容器B中置于黑化还原炉中,在真空条件下,升高炉温,保持高温4‑12h;降温至室温,充气开炉门取出晶片。
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