[发明专利]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201710922695.2 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107587111B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄俊淞;苏志玮;付潇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备，以降低蒸镀生产成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率。蒸镀设备包括：在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；每个蒸镀腔单元所连接的承载架，位于蒸镀腔单元的下方；每个承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；第一驱动机构，与各个第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，其中，第二水平方向与所述第一水平方向正交。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；每个所述蒸镀腔单元所连接的承载架，位于所述蒸镀腔单元的下方；每个所述承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；第一驱动机构，与各个所述第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动所述第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，所述第二水平方向与所述第一水平方向正交。
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