[发明专利]一种真空电子器件中的零件防护工艺

摘要

本发明公开了一种真空电子器件中的零件防护工艺，所述真空电子器件中的零件防护工艺包括：第一，零件预处理，为了使零件本身清洁、含气量少，并消除内应力，需要对零件进行预处理；第二，深度清洗，首先利用汽油、三氯乙烯以及丙酮除去零件表面的油污，再经过酸液以及碱液处理，去除表面的氧化层以及锈垢，然后对零件进行超声清洗；第三，退火处理，将清洗烘干过的零件放入密闭烘干箱中加热到其熔点以下10‑20︒C的温度并保持5‑8分钟；第四，表面涂敷，为避免制造过程中氧化、便于焊接以及减小使用时的高频损耗；第五，检验测试，对零件进行电气参数的测试。该发明的有益效果是对制造真空电子器件的零件的防护效果好，增加器件的使用寿命。

主权项

1.一种真空电子器件中的零件防护工艺，其特征在于：所述真空电子器件中的零件防护工艺包括以下步骤：第一，零件预处理，为了使零件本身清洁、含气量少，并消除内应力，需要对零件进行预处理，首先使用毛刷将零件周围上的污垢进行除去，然后利用蒸馏水对零件进行洗刷一遍，最后通过打磨砂纸对零件周围上的毛边以及凸点进行打磨；第二，深度清洗，首先利用汽油、三氯乙烯以及丙酮除去零件表面的油污，再经过酸液以及碱液处理，去除表面的氧化层以及锈垢，然后对零件进行超声清洗，以获得更佳的效果，最后通过热鼓风机将零件进行烘干处理；第三，退火处理，将清洗烘干过的零件放入密闭烘干箱中加热到其熔点以下10‑20︒C的温度并保持5‑8分钟，然后缓慢冷却，以消除零件在加工过程中产生的应力；第四，表面涂敷，为避免制造过程中氧化、便于焊接以及减小使用时的高频损耗，首先需要对零件的表面进行镀镍处理，然后利用石墨喷涂方法给零件涂敷一层高频衰减墨层，最后涂敷碳化钽，以提高零件表面逸出功，降低次级发射 ；第五，检验测试，对零件进行电气参数的测试，构成管壳的零件进行气密性检验，合格后才能进行使用。