[发明专利]一种内置换热器的多晶铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201710927088.5 申请日: 2016-02-03
公开(公告)号: CN107488875B 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 陈鸽;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 李伟忠
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362000 福建省泉*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种内置换热器的多晶铸锭炉,包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置、加热器及隔热笼,加热器设置在隔热笼内,引流装置装配在隔热笼的隔热板上,还包括用于加热载气的加热装置及换热器,所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内,加热装置设置在隔热笼内,换热器设置在隔热笼外;所述换热器的输入端和载气的输气管连通,输出端和加热装置的输入端连通;所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通。冷载气依次经换热器、加热装置加热后形成温度较高的热载气,而后将该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料;减少吹射区域液态硅组分的过冷度,降低甚至消除液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。
搜索关键词: 一种 内置 换热器 多晶 铸锭
【主权项】:
一种内置换热器的多晶铸锭炉,包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置、加热器及隔热笼,加热器设置在隔热笼内,引流装置装配在隔热笼的隔热板上,其特征在于:还包括用于加热载气的加热装置及换热器,所述加热装置和换热器设置在铸锭炉内,加热装置设置在隔热笼内,换热器设置在隔热笼外;所述换热器的输入端和载气的输气管连通,输出端和加热装置的输入端连通;所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通。
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