[发明专利]一种管道式流体充注控制装置

摘要

本发明公开了一种管道式流体充注控制装置，包括真空主管和充放阀组；真空主管上设置有支管；充放阀组包括支撑座、第一气缸体、弹性伸缩管以及第二气缸体；第一气缸体连接有第一流体管，高压流体通过第一气缸体的流道进出弹性伸缩管内驱使弹性伸缩管升降；第二气缸体连接有用于工作流体的第二流体管；第二气缸体的顶部具有与真空主管的内壁配合形成密封使支管与真空主管管腔隔离的密封部；第二流体管内的工作流体经过第二气缸体的流道进出支管。本发明工作流体的输送管道与形成真空主管的腔道不相通，能够减少注入稀有放电气体等工作流体的损耗，大大降低生产成本，提高工作效率。

主权项

1.一种管道式流体充注控制装置，包括真空主管；所述真空主管上设置有支管接口和真空管接口；所述支管接口上固定有支管，真空管接口用于连接真空设备，所述支管通过真空主管的管腔与真空设备相通；其特征在于，还包括设置于真空主管内部的充放阀组；所述充放阀组包括支撑座以及依次设置在支撑座上的第一气缸体、弹性伸缩管以及固定在弹性伸缩管上的第二气缸体；所述第一气缸体连接有用于充放高压流体的第一流体管，高压流体通过第一气缸体的流道进出弹性伸缩管内驱使弹性伸缩管升降；所述第二气缸体连接有用于工作流体的第二流体管；所述第二气缸体的顶部具有与真空主管的内壁配合形成密封使支管与真空主管管腔隔离的密封部，所述密封部内设置有密封组件；所述第二流体管内的工作流体经过第二气缸体的流道进出支管。