[发明专利]一种高效型硅片清洗机在审

专利信息
申请号: 201710927998.3 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN109599349A 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 王先达 申请(专利权)人: 慈溪市恒达铜业有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/04;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315322 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明具体涉及一种高效型硅片清洗机,包括平移支架,平移支架的末端向右延伸并超过超声漂洗槽,在平移支架超出超声漂洗槽的部分固定有热风机,且热风机下方固定有导风机构,导风机构包括顶板、前板、后板以及右侧板,顶板、前板、后板以及右侧板均为相互连通的中空结构,且顶板的顶面固定于热风机的下方,前板、后板以及右侧板的内侧壁上均均匀开设有若干通风孔,在导风机构的顶板的下方固定有挂钩;人工将吊篮挂在导风机构内的挂钩上,开启热风机并吹出热风,并通过导风机构吹向吊篮中,一段时间后,断开热风机电源,此时再进行人工卸料,这样就可保证下料时太阳能硅片的干燥,减少太阳能硅片清洗的失败率。
搜索关键词: 导风机构 热风机 平移支架 右侧板 后板 前板 超声漂洗槽 硅片清洗机 太阳能硅片 高效型 吊篮 挂钩 部分固定 均匀开设 中空结构 内侧壁 通风孔 吹出 顶面 热风 下料 卸料 断开 连通 电源 清洗 延伸 失败 保证
【主权项】:
1.一种高效型硅片清洗机,从左至右依次包括浸泡上料槽、超声粗洗槽、超声波清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽、超声漂洗槽以及下料台,在上述各槽的上方通过支杆固定有横杆,所述横杆下方通过若干竖直设置的电动升降杆连接有平移支架,所述平移支架通过挂钩挂设有吊篮,其特征在于:所述平移支架的末端向右延伸并超过所述超声漂洗槽,在所述平移支架超出所述超声漂洗槽的部分固定有热风机,且所述热风机下方固定有导风机构,所述导风机构的左侧和底端均开口,所述导风机构包括顶板、前板、后板以及右侧板,所述顶板、所述前板、所述后板以及所述右侧板均为相互连通的中空结构,且所述顶板上开设有贯穿所述顶板顶面和底面的通风口,且所述顶板的顶面固定于所述热风机的下方,所述前板、所述后板以及所述右侧板的内侧壁上均均匀开设有若干通风孔,在所述导风机构的所述顶板的下表面上固定有所述挂钩。
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