[发明专利]一种成像装置、成像方法及成像系统有效
| 申请号： | 201710928976.9 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107796837B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;丁致远;高斯;宋苾莹 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N23/205 | 分类号： | G01N23/205 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种成像装置、成像方法和成像系统，属于样品图像数据的获取及成像技术领域；一种成像装置，包括荷电粒子源，会聚系统，扫描控制系统，探测模块，置于探测模块下方的光谱分析模块；所述探测模块包括若干个像素化探测器单元，在该探测模块上开设有孔洞。本发明成像装置，包括开孔的探测模块和光谱分析模块，利用开孔的探测模块获得衍射图案，光谱分析模块将穿过开孔的荷电粒子束进行光谱分析，实现一次扫描同时获得衍射图案及光谱信号；本发明成像方法基于空心层叠成像方法，能够实现对开孔的探测模块得到的衍射图案进行成像，成像效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成像 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种成像装置，其特征在于，包括荷电粒子源(1)，用于发射荷电粒子；会聚系统(2)，用于约束并会聚荷电粒子束；扫描控制系统(3)，用于控制荷电粒子束在样品上的扫描；样品(4)；探测模块(5)，用于接收荷电粒子，并检测荷电粒子信号强度；置于探测模块(5)下方的光谱分析模块(6)，用于分析荷电粒子的谱学特征；所述探测模块(5)包括若干个像素化探测器单元(7)，该探测模块(5)上开设有孔洞(8)。
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