[发明专利]一种耐氧化键合铜丝材料的制备方法有效
申请号: | 201710929328.5 | 申请日: | 2017-10-09 |
公开(公告)号: | CN107723488B | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 季美 | 申请(专利权)人: | 南理工泰兴智能制造研究院有限公司 |
主分类号: | C22C1/02 | 分类号: | C22C1/02;C22C9/02;B22D11/00;B21C37/04;H01L23/498 |
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地址: | 225300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种耐氧化键合铜丝材料的制备方法,属于电子材料技术领域。本发明通过铜粉、锡粉、硅粉和钼粉为主要材料,通过共混烧结后形成改性粉末,由于钼粉基体熔融并与硅粉反应发生硅化,在单晶铜熔融制备铜杆过程中,在其表面均匀包覆MoSi2层,在其表面形成致密保护层,使铜杆在制备键合丝过程中,限制其表面氧气的向内扩反应,提高材料的抗氧化性能,从而有效提高键合丝材料的使用性能;且本发明通过对单晶铜杆内部添加Sn,将微量Sn加入到高纯铜中,固溶于铜中的Sn使高纯铜晶格产生畸变,增大了单晶铜再结晶过程中由位错重排而形核的难度,因此使金属在较高温度下才能发生再结晶,从而有效提高其发生氧化的难度,提高材料的抗氧化性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 铜丝 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种耐氧化键合铜丝材料的制备方法,其特征在于具体制备步骤为:(1)按重量份数计,分别称量45~50份铜粉、10~15份锡粉、2~3份硅粉和5~8份钼粉混合,球磨过筛得球磨粉末,将球磨粉末置于模具中,压制成型后静置、脱模制备得坯料;(2)将坯料置于管式气氛炉中,抽真空至25~30Pa,随后按10℃/min升温至1500℃,保温煅烧2~3h后,静置冷却至室温,收集得烧结料并粉碎,过500目筛,得改性粉末;(3)取电解铜并球磨过筛,得电解铜粉末,按质量比1:10,将改性粉末与电解铜粉末搅拌混合,得混合粉末,将混合粉末置于真空熔炼炉,抽真空后,升温加热,保温熔融,在氩气气氛下,将引锭用铜管装在铸锭夹紧装置中,通冷却水并启动牵引机构,制备得改性单晶铜杆;(4)将改性单晶铜杆置于单丝拉丝机中,经直径8mm、1.15mm、0.25mm和0.03mm拉丝模具一次连续拉丝处理,将直径0.03mm铜丝置于退火复绕装置中,在氩气气氛、400~450℃下退火处理,待退火完成后,即可制备得一种耐氧化键合铜丝材料。
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