[发明专利]新型自动化热电效应测试系统及方法在审
| 申请号： | 201710929413.1 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107656159A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 姜一波;董良威;翟明静;鲍静益;葛云飞;王玥;汤洪波 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01J5/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 高桂珍 |
| 地址： | 213032 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型自动化热电效应测试系统及方法。该系统集成多种信号发生模块，包括传输线脉冲发生装置、长脉冲发生装置和AC信号发生装置；集成多种热电效应检测模块，包括温度控制与监测装置、IV检测装置、CV检测装置、红外成像装置。该系统集成多种信号发生模块和多种热电效应检测模块，多种信号发生模块利用传输线系统产生100ps到100ns范围内脉冲宽度、脉冲间隔、脉冲电压幅度灵活可调的冲击脉冲，或者由信号发生器产生长脉冲或AC信号，满足多种元器件测试需求。多种热电效应检测模块具备多种热电效应检测手段，包括热电效应测试中温度、IV、CV、红外参数的检测。是具备自动化特点的半导体元器件热电效应测试系统。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 自动化 热电 效应 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
新型自动化热电效应测试系统，其特征在于包括：集成多种信号发生模块，包括传输线脉冲发生装置、长脉冲发生装置(41)和AC信号发生装置(42)；集成多种热电效应检测模块，包括温度控制与监测装置(91)、IV检测装置(92)、CV检测装置(93)、红外成像装置(94)；适应多种元器件热电效应的测试系统与自动化测试方法。
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