[发明专利]控制压印材料扩散的方法在审
| 申请号： | 201710931985.3 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107942617A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 叶正茂;N·昆斯纳塔迪诺夫;E·B·弗莱彻 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00;B82Y10/00;B29C59/02;B29C43/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了控制压印材料扩散的方法。在可用于压印光刻的基板上具有限定压印场的位置，所述压印场还由内部区域、围绕所述内部区域的周边区域以及边界进一步限定，其中所述周边区域还包括流体控制特征。允许在压印场位置处沉积在基板上的可聚合材料在基板上扩散，其中流体控制凹凸特征使得可聚合材料的扩散重新定向，以在然后执行进一步的压印光刻技术时最小化可聚合材料扩散超过压印场边界。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 压印 材料 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基板，在所述基板上具有限定具有边界的压印场的位置，所述压印场还由内部区域和围绕所述内部区域的周边区域进一步限定，其中所述周边区域还包括流体控制特征；在压印场位置处将可聚合材料沉积到基板上；以及允许可聚合材料在基板上扩散，其中流体控制凹凸特征使得可聚合材料的扩散重新定向，以最小化可聚合材料扩散超过压印场边界。
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