[发明专利]一种柔性硬质复合涂层及其制备方法和涂层刀具

摘要

本发明提供一种柔性硬质复合涂层及其制备方法和涂层刀具。本发明提供的柔性硬质复合涂层，包括在基体表面依次设置的AlCrN过渡层和纳米复合层，所述纳米复合层包括在AlCrN过渡层表面依次交替设置的CrON层和AlON层。本发明以AlCrN为过渡层，增强纳米复合层与基体之间的连接，CrON层和AlON层组成的纳米复合层能够提高涂层韧性，并且CrON层和AlON层的依次交替可以降低涂层的应力，增加涂层的晶面结构及晶界，进一步提高硬度和抗高温氧化特性。实验结果表明，本发明提供的柔性硬质复合涂层的硬度可达28GPa，弹性恢复系数可达70％。

主权项

1.一种柔性硬质复合涂层，包括在基体表面依次设置的AlCrN过渡层和纳米复合层，所述纳米复合层包括在AlCrN过渡层表面依次交替设置的CrON层和AlON层；所述AlCrN过渡层的厚度为200～500nm；每层CrON层和AlON层的厚度分别独立地为3～20nm；所述CrON层为包括CrN纳米晶和Cr₂O₃非晶的纳米复合结构；所述AlON层为包括AlN纳米晶和Al₂O₃非晶的纳米复合结构。