[发明专利]NO2气体传感器及其制备方法、使用方法以及解吸附方法在审
申请号: | 201710934871.4 | 申请日: | 2017-10-10 |
公开(公告)号: | CN107727700A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 周泳;任浩;朱相宜;郭永彩;高潮 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;B82Y15/00 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司50212 | 代理人: | 黄河 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明公开了一种NO2气体传感器,包括叉指电极,所述叉指电极上喷涂有异质结气敏材料溶液,形成气敏薄膜层;异质结气敏材料溶液为MoS2/ZnO复合材料溶液;MoS2与ZnO纳米线在复合溶液中接触形成P‑N型异质结。还公开了一种制备方法首先制备MoS2/ZnO复合材料溶液,然后将其沉积到叉指电极上。还公开了一种使用方法先对NO2气体传感器进行紫外光照射,使其电阻值稳定后,停止照射,然后利用NO2气体传感器进行检测。还公开了一种解吸附方法在紫外光照射下,吹送高纯度N2。本发明的NO2气体传感器在常温下具有对低浓度NO2气体的高灵敏度,本发明的使用方法能进一步提高灵敏度,本发明的解吸附方法能实现完全解吸附。 | ||
搜索关键词: | no2 气体 传感器 及其 制备 方法 使用方法 以及 解吸 | ||
【主权项】:
一种NO2气体传感器,其特征在于:包括叉指电极,所述叉指电极上通过喷涂异质结气敏材料溶液,经过加热烘干形成气敏薄膜层;所述异质结气敏材料溶液为MoS2/ZnO复合材料溶液;MoS2/ZnO复合材料溶液包括浓度为0.1~20mg/ml的少层MoS2乙醇溶液以及浓度为0.1~20mg/ml的ZnO纳米线乙醇溶液,少层MoS2与ZnO纳米线在复合溶液中均匀复合,沉积在叉指电极上成膜形成P‑N型异质结结构;少层MoS2乙醇溶液与ZnO纳米线乙醇溶液的体积比为0.1~1。
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