[发明专利]一种薄片材料测厚用光谱共焦检测设备及其检测方法

摘要

本发明公开了一种薄片材料测厚用光谱共焦检测设备及其检测方法，包括设备外壳以及光谱共焦检测机构、工控主机、光谱测厚电箱和滚筒机构，滚筒机构包括第一滚筒部分、第二滚筒部分以及设置于第一滚筒部分与第二滚筒部分上端中部的平行杆机构，光谱共焦检测机构包括支撑座、光电开关、第一光谱控制器、第二光谱控制器、U型架、第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头以及与支撑座连接的丝杆驱动机构，第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头设置于U型架的同侧端部呈同轴线连接，U型架的底部与丝杆驱动机构的滑动块连接。本发明为在线式非接触的光谱共焦测量设备，具有超高分辨率、检测稳定、可测量小孔、更高精度、更方便快速、检测范围广等优点。

主权项

一种薄片材料测厚用光谱共焦检测设备，其特征在于，包括设备外壳以及设于设备外壳内的光谱共焦检测机构、工控主机、光谱测厚电箱和滚筒机构，所述的滚筒机构包括第一滚筒部分、第二滚筒部分以及设置于第一滚筒部分与第二滚筒部分上端中部的平行杆机构，所述第一滚筒部分与第二滚筒部分的两端分别通过支座连接板、滚轴支座相连接，所述的光谱共焦检测机构包括支撑座、光电开关、第一光谱控制器、第二光谱控制器、U型架、第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头以及与支撑座连接的丝杆驱动机构，所述第一光谱控制器、第二光谱控制器与U型架的一侧连接，所述第一光谱共焦镜头、第二光谱共焦镜头通过镜头调节机构分别与所述U型架另一侧的上端部、下端部呈同轴线连接，所述U型架的底部通过滑轨底板与所述丝杆驱动机构的滑动块连接。