[发明专利]一种用于点衍射测量系统的多波长干涉相位检测方法有效
| 申请号： | 201710936475.5 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107702645B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 李兵;康晓清;赵卓;陈磊;魏翔 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于点衍射测量系统的多波长干涉相位检测方法，包括分别发出红、绿、蓝色光的三个激光器、三个激光器分别经过稳频合束单元合并为一束，再经过汇聚透镜汇聚到针孔衍射板上，衍射产生的高精度球面波分作检测波面和参考波面两部分，检测波面为被测件反射至针孔衍射板，由针孔衍射板再次反射而与参考波面干涉，两相干光形成的干涉图像经成像镜组为3CCD所采集，3CCD与计算机连接，通过红绿蓝三个激光同时进行衍射干涉，并同时获取三幅干涉图像，由迭代的方法求解干涉图像，并用统计的方法和中国余数定理获取迭代初值，最终得到相位。保持了点衍射法自针孔后光路简单的优点，且由于多幅干涉图于同一时间获得，因而具有抗振性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 衍射 测量 系统 波长 干涉 相位 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种用于点衍射测量系统的多波长干涉相位检测方法，其特征在于，包括分别发出红、绿、蓝色光的三个激光器、三个所述激光器分别经过稳频合束单元(4)合并为一束，再经过汇聚透镜(5)汇聚到针孔衍射板(6)上，衍射产生的高精度球面波分作检测波面和参考波面两部分，检测波面为被测件(11)反射至针孔衍射板(6)，由针孔衍射板(6)再次反射而与参考波面干涉，两相干光形成的干涉图像经成像镜组(7)为3CCD(8)所采集，所述3CCD(8)与计算机(9)连接，通过红绿蓝三个激光同时进行衍射干涉，并同时获取三幅干涉图像，由迭代的方法求解干涉图像，采用统计的方法和中国余数定理获取迭代初值，最终得到相位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710936475.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：围岩开挖变形全过程监测系统及使用方法
- 下一篇：一种接触网磨耗检测方法及系统
