[发明专利]硅片的裂片装置

摘要

本发明公开了一种硅片的裂片装置，其特征在于：包括机架，机架的下方设置有下滑道，机架的上方并列设置有第一滑道和第二滑道，在第一滑道和第二滑道之间设置有一裂片单元，在滑道的端部设置有输送组件，每个输送组件包括抵靠板、夹持件，裂片单元包括驱动电机、传齿条、齿轮、往复盘、拨动条、左基座、右基座，拨动条的外端开设有一拨动部，左基座的中部开设有左拨动槽，左基座和右基座的外端设置有裂片组件，每个裂片组件分别包括固定板、压片块、裂片条、两个第一导柱、第二导柱、第一弹簧和第二弹簧，第一导柱和第二导柱设置于固定板上，第一导柱的外端与压片块固定，第二导柱的外端与裂片条固定，裂片条滑动设置于压片块内。

主权项

1.一种硅片的裂片装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)的下方设置有下滑道(13)，机架(1)的上方并列设置有第一滑道(11)和第二滑道(12)，在第一滑道(11)和第二滑道(12)之间设置有一裂片单元(4)，在第一滑道(11)的一端设置有第一输送组件，在第一滑道(11)的另一端设置有第二输送组件，在第二滑道(12)的一端设置有第四输送组件，在第二滑道的另一端设置有第三输送组件，每个输送组件包括一竖向布置的抵靠板(21)、设置于抵靠板(21)上方用于竖向夹持待裂片硅片(3)的夹持件(22)、与该夹持件(22)连接用于输送待裂片硅片(3)竖向移动的移动缸(23)，抵靠板(21)的下部形成有限位槽(211)，所述裂片单元(4)包括驱动电机(41)、与该驱动电机(41)输送端连接的传动杆(410)、滑杆(42)、设置于滑杆(42)上方且与下滑道(13)滑动配合的齿条(43)、与该齿条(43)啮合的齿轮(44)、设置于齿轮(44)上方的摆轴(441)、设置于摆轴(441)顶部的往复盘(45)、设置于往复盘(45)之上的拨动条(46)、滑动设置于第一滑道(11)内的左基座(471)、滑动设置于第二滑道(12)内的右基座(472)，滑杆(42)上形成有滑杆槽(421)，传动杆(410)的外端滑动限位于滑杆槽(421)内，拨动条(46)的外端开设有一拨动部(461)，左基座(471)的中部面向往复盘(45)一侧开设有与拨动部(461)形状相适配的左拨动槽，左基座(471)的一端设置有第一裂片组件，左基座(471)的另一端设置有第二裂片组件，右基座(472)的中部面向往复盘(45)一侧开设有与拨动部(461)形状相适配的右拨动槽，右基座(472)的一端设置有第四裂片组件，右基座(472)的另一端设置有第三裂片组件，每个裂片组件分别包括有一固定于对应的左基座(471)或者右基座(472)上的固定板(51)、与固定板(51)相对的压片块(52)、裂片条(53)、两个第一导柱(541)、第二导柱(542)、套设于第一导柱(541)上的第一弹簧(551)和套设于第二导柱(542)上的第二弹簧(552)，固定板(51)上面向对应的输送组件一侧开设有凹槽(511)，第一导柱(541)设置于固定板(51)的凹槽(511)两侧，第一导柱(541)的外端滑动限位于压片块(52)内，第一导柱(541)的内端与固定板(51)固定，第二导柱(542)的外端与裂片条(53)固定，第二导柱(542)的内端与固定板(51)固定，压片块(52)上面向对应的输送组件一侧开设有滑槽(521)，裂片条(53)滑动设置于滑槽(521)内。