[发明专利]一种硅片的裂片装置

摘要

本发明公开了一种硅片的裂片装置，其特征在于包括支座，支座的两端分别设置有滑槽，支座上转动设置有凸轮，支座上滑动设置有滑动杆，滑动杆的中部位于凸轮的两侧分别设置有第一滚轮和第二滚轮，滑动杆的一端竖向设置有第一裂片块，第一裂片块包括第一压紧部和第一裂片条，滑动杆的另一端竖向设置有第二裂片块，第二裂片块包括第二压紧部和第二裂片条，滑动杆的一端竖向设置有第一输送滑道与第一回料滑道，滑动杆的另一端竖向设置有第二输送滑道与第二回料滑道，第一输送滑道、第二输送滑道、第一回料滑道和第二回料滑道包括长条形的输送侧板、上侧板、下侧板，上侧板和下侧板的相对侧面上设置有输送滚轮。

主权项

一种硅片的裂片装置，其特征在于：包括支座(4)，支座(4)的两端分别设置有一滑槽，支座(4)的中部转动设置有一凸轮(1)，凸轮(1)的外轮廓包括近边弧段(11)、远边弧段(12)以及连接近边弧段(11)和远边弧段(12)之间的过渡段(13)，支座(4)上滑动设置有一滑动杆(5)，滑动杆(5)的两端分别滑动设置于对应的滑槽内，滑动杆(5)的中部位于凸轮(1)的两侧分别设置有与凸轮(1)外轮廓接触的第一滚轮(21)和第二滚轮(22)，滑动杆(5)的一端竖向设置有第一裂片块(51)，第一裂片块(51)包括用于压紧待裂片硅片(3)的第一压紧部(512)以及用于对待裂片硅片(3)进行裂片的第一裂片条(511)，滑动杆(5)的另一端竖向设置有第二裂片块，第二裂片块包括用于压紧待裂片硅片的第二压紧部以及用于对待裂片硅片进行裂片的第二裂片条，滑动杆(5)的一端竖向设置有第一输送滑道(61)以及与该第一输送滑道(61)间隔布置的第一回料滑道(71)，滑动杆(5)的另一端竖向设置有第二输送滑道以及与该第二输送滑道间隔布置的第二回料滑道，第一输送滑道(61)和第一回料滑道(71)的间隙处设置有用于检测待裂片硅片(3)位置的第一位置感应器，第二输送滑道和第二回料滑道的间隙处设置有用于检测待裂片硅片位置的第二位置感应器，第一输送滑道(61)、第二输送滑道、第一回料滑道(71)和第二回料滑道包括长条形的输送侧板(611)、延伸于输送侧板(611)上侧的上侧板(612)、延伸于输送侧板(611)下侧的下侧板(613)，上侧板(612)和下侧板(613)的相对侧面上设置有用于输送待裂片硅片(3)的输送滚轮(8)。