[发明专利]一种采用in‑site退火的PERC电池的制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池，公开了一种采用in‑site退火的PERC电池的制备方法，包括1）对硅片进行制绒、扩散、背面刻蚀、抛光、背面沉积氧化铝薄膜；2）in‑site退火+沉积背面氮化硅薄膜将硅片送入PECVD炉管中，升温至530‑570℃，升温时间为300‑600s，保持300‑900s；降温至500‑530℃，通大氮；在保温条件下，抽空，检漏，再次抽空，充入SiH4和NH3，镀膜；3）沉积正面氮化硅、背面激光开槽、丝网印刷并烧结。本发明在制备PERC电池的过程中，在PECVD炉管中采用in‑site退火，激活氧化铝钝化膜，该方法无需退火炉，不仅能够降低成本，还能缩短周期。

主权项

一种采用in‑site退火的PERC电池的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）对硅片进行制绒、扩散制结、背面刻蚀、抛光、背面沉积氧化铝薄膜；2）in‑site退火+沉积背面氮化硅薄膜：将步骤1）处理后的硅片送入PECVD炉管中，将炉管温度升至530‑570℃，升温时间为300‑600s，保持时间为300‑900s；将温度降至500‑530℃，降温过程中通入大氮；在保温条件下，进行抽空，接着进行检漏，再次抽空，充入SiH4和NH3，最后进行镀膜；3）沉积正面氮化硅、背面激光开槽、丝网印刷并烧结。