[发明专利]用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法

摘要

本发明涉及一种用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，属于光学检测技术领域，该方法利用固定在汉德尔球后端面的刻度标记装置实现干涉仪与汉德尔球之间的粗对准，再利用干涉仪球面标准镜的猫眼像实现干涉仪与汉德尔球之间的精确对准，待干涉仪与汉德尔球之间的光路对准完成后，通过对干涉仪采集到的待检凸非球面反射镜的表面干涉图进行数据处理，根据经过数据处理后的表面干涉图的外圆数据中心和内孔数据中心是否重合来确定汉德尔球和待检凸非球面反射镜之间是否实现光路对准，从而解决了在使用汉德尔球进行凸非球面反射镜检测过程中，待检凸非球面反射镜与整个光学检测系统的对准问题。

主权项

1.一种用于凸非球面反射镜检测的光路对准方法，其特征在于，包括以下步骤：将刻度标记装置贴合汉德尔球的后端面固定，且使所述刻度标记装置的刻度中心与所述汉德尔球的中心孔的中心重合；调节所述汉德尔球的轴向位置，使干涉仪的最小出射光斑与所述刻度中心重合；拆除所述刻度标记装置后，将拼接量块固定于所述汉德尔球的后端面，且所述拼接量块的厚度等于所述干涉仪的球面标准镜的焦点至所述汉德尔球的后端面的距离；调节所述汉德尔球的轴向位置和倾斜角度，直至在所述干涉仪中观察到所述球面标准镜的猫眼像，并在观察到所述猫眼像后拆除所述拼接量块，完成所述干涉仪与所述汉德尔球之间的光路对准；将待检凸非球面反射镜放置在所述干涉仪的出射光中心位置，并调节待检凸非球面反射镜的轴向位置，使所述干涉仪的出射光焦点与所述干涉仪的出射光经过所述待检凸非球面反射镜和所述汉德尔球反射后形成的反射焦点相重合；调节所述待检凸非球面反射镜的轴向位置和倾斜角度，直至所述干涉仪采集到的表面干涉图的有效区域对应的泽尼克多项式系数Z3、系数Z6和系数Z7达到最小值，其中系数Z3对应于离焦像差，系数Z6和系数Z7均对应于彗差像差；对所述系数Z3、所述系数Z6和所述系数Z7达到最小值时的所述表面干涉图进行数据处理，判断经过数据处理后的所述表面干涉图的外圆数据中心和内孔数据中心是否重合，若重合，则完成所述汉德尔球和所述待检凸非球面反射镜之间的光路对准。