[发明专利]一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构

摘要

本发明公开了一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构，主要由衬底、铬薄膜、银薄膜、介质薄膜、钯薄膜、一个直线型狭缝以及两个直线型凹槽阵列构成。其中铬薄膜、银薄膜、介质薄膜与钯薄膜依次附着在衬底上，形成多层复合薄膜；直线型狭缝位于多层复薄膜上，并刻穿多层复合薄膜；两个直线型凹槽阵列与线型狭缝平行，并分别位于直线型狭缝两侧。该氢气传感微结构利用表面等离激元共振效应使得其出射光沿指定方向角传播，并且出射光束的方向角度具有随着氢气浓度变化的特性。基于本发明的氢气传感系统具有灵敏度高，响应速度快，抗环境干扰能力强、氢气传感探头结构的灵巧化，信号探测处理的简单化与低成本化的特点。

主权项

一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构，其特征在于：主要包括衬底(1)、铬薄膜(2)、银薄膜(3)、介质薄膜(4)、钯薄膜(5)、直线型狭缝(6)以及两个直线型凹槽阵列，铬薄膜(2)、银薄膜(3)、介质薄膜(4)与钯薄膜(5)依次附着在衬底(1)上，形成多层复合薄膜；直线型狭缝(6)位于多层复合薄膜上，并穿透多层复合薄膜，即该直线型狭缝(6)从上至下依次穿透钯薄膜(5)、介质薄膜(4)、银薄膜(3)、铬薄膜(2)；两个直线型凹槽阵列为直线型凹槽阵列A(7)和直线型凹槽阵列B(8)，位于直线型狭缝(6)的两侧，并均与直线型狭缝(6)平行排布；凹槽阵列具有相同的深度，从上至下依次穿透钯薄膜(5)与介质薄膜(4)，并在银薄膜(4)内刻穿至一定深度但并没有穿透。