[发明专利]一种基于倏逝波的离子浓度测试芯片有效
| 申请号： | 201710943245.1 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN107764791B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 尹小杰;李毅;孙静雯;周智鹏;张家顺;安俊明;吴远大;钟飞;常夏森 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张绍琳;谢萍 |
| 地址： | 458030 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于倏逝波的离子浓度测试芯片，包括芯片本体，所述芯片本体包括衬底、波导和包层，包层将波导包裹在衬底上，且在包层上与波导相对应的位置设置有微槽，微槽的宽度大于波导的宽度，且在微槽的内壁涂覆有待测离子物质荧光识别材料。以及制作方法，步骤1，清洗衬底；步骤2，淀积波导芯层；步骤3，高温退火；步骤4，形成掩膜层；步骤5，涂覆光刻胶；步骤6，刻蚀掩膜层；步骤7，形成波导芯层；步骤8，去除掩膜层；步骤9，淀积上包层；步骤10，上包层形成掩膜层；步骤11，涂覆光刻胶；步骤12，去除光刻胶层；步骤13，形成微槽；步骤14，去除掩膜层；步骤15，切割并磨抛。本发明灵敏度高，生物特异性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 倏逝波 离子 浓度 测试 芯片 | ||
【主权项】：
一种基于倏逝波的离子浓度测试芯片，其特征在于：包括芯片本体，所述芯片本体包括衬底（1）、波导（2）和包层（3），包层（3）将波导（2）包裹在衬底（1）上，且在包层（3）上与波导（2）相对应的位置设置有微槽（4），微槽（4）的宽度大于波导（2）的宽度，且在微槽（4）的内壁涂覆有待测离子物质荧光识别材料。
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