[发明专利]一种用于晶圆低温测试时的防霜装置在审
| 申请号： | 201710945673.8 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109655731A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李擎;苏中;刘洪;刘宁;王英剑;梅迪 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆低温测试时的防霜装置，属于集成电路测试设备技术领域。所述装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。本发明利用模块化的设计思想，简化了用于晶圆低温测试时的防霜装置结构，设计出的用于晶圆低温测试时的防霜装置具有结构简单的优点，同时可根据需要应用于不同场合。本发明综合各模块信息，能够有效地实现晶圆低温测试时的防霜，为晶圆提供高稳定性的低温测试环境，提高了晶圆测试的可靠性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 低温测试 晶圆 防霜装置 集成电路测试设备 氮气 氮气流量调节 温度调节模块 湿度传感器 温度传感器 有效地实现 除湿模块 氮气供应 高稳定性 晶圆测试 控制模块 模块信息 模块化 屏蔽罩 防霜 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶圆低温测试时的防霜装置，其特征在于，该装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学，未经北京信息科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710945673.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
